床單位消毒機通過以下方式有效殺滅深層病菌：

采用抽真空技術：通過氣泵將床單位(床墊、被褥、床單、枕芯等)中空氣抽出，形成近似真空環境，增加單位面積內臭氧濃度，使臭氧能夠滲透至被褥內部，實現無死角消毒。

高濃度臭氧滲透：使用進口高濃度臭氧氣體發生裝置或BNP智能型鈦金陶瓷結構臭氧發生器，產生高濃度臭氧氣體，通過氣泵充入床單位進行消毒。臭氧濃度可達1400mg/m3(袋內濃度)，能穿透至深層病菌所在位置。

全自動消毒程序：包括抽真空、消毒、滲透、解析還原等步驟，可根據需要設定消毒時間(1-99分鐘可調)，一個消毒周期自動完成。

廣譜殺菌能力：臭氧分子極不穩定，容易分解產生氧化能力極強的單原子氧和羥基，能迅速融入細胞壁，破壞細菌、病毒、真菌等微生物的內部結構，對金黃色葡萄球菌、大腸桿菌、白色念珠菌、綠濃桿菌等殺滅率達99.9%以上，并能破壞HBsAG。

殘留臭氧處理：消毒完成后設有解析裝置，能將殘余臭氧全部分解成凈化空氣，確保對人和環境安全無害，無二次污染。

這種消毒方式相比傳統紫外線照射或高壓蒸汽消毒，能夠徹底殺滅潛于床單位深層的病菌，有效控制醫院交叉感染。